表面污染檢測儀是一類用于精準識別、量化固體表面微量污染物（如油污、顆粒、金屬離子、有機物殘留等）的專業分析儀器，廣泛應用于半導體制造、精密電子、生物醫藥、航空航天及食品包裝等對表面潔凈度要求嚴苛的領域，是保障產品質量、生產安全及工藝穩定性的核心工具。
其核心工作邏輯是通過特定檢測原理，捕捉污染物與潔凈表面在物理或化學特性上的差異：常見原理包括光學法（利用污染物對光的反射、散射或熒光特性差異，如激光散射法檢測微小顆粒，紫外熒光法識別油類污染物）、電化學法（通過電極感應表面金屬離子殘留引發的電位變化）、接觸角法（污染物會改變表面潤濕性能，間接反映污染程度）及質譜法（適用于高精度有機物殘留檢測，可明確污染物成分）。不同原理的儀器可針對性解決不同類型的污染檢測需求，例如半導體行業常用激光顆粒檢測儀，而生物醫藥領域更依賴有機物殘留檢測儀。
1、探測器（Detector）
這是儀器最核心的部件，負責接收和轉換輻射信號。根據需要探測的射線類型不同，探測器類型也不同：
α探測器：
材料：通常采用ZnS(Ag)閃爍體（硫化鋅銀激活）或氣體正比計數器（如P-10氣體：90%Ar+10%CH?）。
特點：α粒子穿透力極弱，探測器窗口必須非常?。ㄈ缭颇复埃?，且探測時需貼近被測表面（<5 cm）。
β探測器：
材料：常用塑料閃爍體（如聚苯乙烯摻雜熒光物質）或GM管（蓋革-米勒管）。
特點：對β射線靈敏度高，可探測中高能β粒子（如P-32,Sr-90/Y-90）。塑料閃爍體響應快，適合大面積掃描。
γ探測器：
材料：常用NaI(Tl)閃爍晶體、GM管或半導體探測器（如CdTe,CZT）。
特點：γ射線穿透力強，可用于遠距離探測或穿透輕質材料探測內部污染。NaI(Tl)靈敏度高，但體積較大；半導體探測器能量分辨率好，適合能譜分析。
α/β/γ多功能探頭：一些高級儀器配備復合探頭，可同時或分別測量多種射線。
2、主機單元（Main Unit/Counter）
這是儀器的“大腦”，包含電子學系統和用戶界面，主要功能包括：
信號處理電路：將探測器輸出的微弱電信號（脈沖）進行放大、整形和甄別。
高壓電源（HV Supply）：為探測器（尤其是GM管、正比計數器、閃爍體光電倍增管）提供所需的工作高壓（通常在幾百至上千伏特）。
微處理器（MCU）：控制儀器運行、數據處理、邏輯判斷（如區分α/β信號）。
顯示器（Display）：顯示測量結果（計數率、累計計數、劑量率）、電池電量、工作模式、報警閾值等信息。常見為LCD或OLED屏幕。
控制按鍵/旋鈕：用于開關機、模式選擇（α/β/γ）、量程切換、報警設置、數據查詢等操作。
報警系統：
聲報警：內置蜂鳴器，當測量值超過預設閾值時發出聲音警報。
光報警：LED燈閃爍（常為紅色），提供視覺警示。
振動報警（部分型號）：在嘈雜環境中提供觸覺反饋。
數據存儲與通信接口（高級型號）：
可存儲測量數據、時間、位置等信息。
配備USB、藍牙或RS232接口，用于數據導出或連接計算機。
3、連接電纜（Cable）
用于連接探測器和主機單元，傳輸探測信號和高壓電源。
電纜應具有良好的屏蔽性能，防止外界電磁干擾影響測量結果。
部分便攜式儀器采用一體化設計，探測器與主機集成，無需外接電纜。
4、電源系統（Power Supply）
電池：絕大多數表面污染檢測儀采用可充電鋰電池或干電池（如AA電池），便于現場便攜使用。
充電電路：內置充電管理模塊，支持通過USB或專用充電器充電。
低電量指示：當電量不足時，儀器會通過屏幕提示或報警提醒用戶更換或充電。
5、機械結構與附件
探頭支架/手柄：方便操作人員手持探頭進行掃描，部分手柄集成控制按鈕。
防護罩/保護窗：保護探測器敏感窗口（尤其是薄窗探測器）免受物理損傷和污染。
校準源支架：用于固定標準校準源，進行儀器效率校準或功能檢查。
便攜箱：用于安全存放和運輸儀器及附件。
